EN中
  • 在线式气体分析仪
  • 便携式气体分析仪器
  • 油气管道健康诊断设备
  • 监测系统解决方案
  • 其他设备

    • 阿瑞斯-µVOC 空气分子污染物监测系统

    阿瑞斯-µVOC 空气分子污染物监测系统

    概述：

    空气分子污染物(AMC)对于高科技生产过程是关键性因素，特别是微电子行业，有机污染物是生产过程中的消极因素，会导致高科技公司因产品质量问题而产生的成本增加。


    无空气分子污染物生产是理想的生产目标，通过污染物源头控制、传播控制，实时监控污染物浓度并结合多级过滤器以及新风系统来实现，持久监测AMC浓度，有助于掌握污染物源头、稳定生产、预防过滤器突发性寿命减少等。


    阿瑞斯-μVOC提供给客户一个实时快捷持续的在线空气分子污染物AMC监测方案，不需要采样，离线测量。


    检测限达到sub-ppb级

    洁净室环境中的空气分子污染物AMC，内部来自建筑材料释出、设备和材料释出、腐蚀和光刻等工艺过程中化学药品逸散、人员产生、管路泄露、设备维护修理时散发等，外部来自环境空气中存在的气相污染物,以及洁净室的废气排放重新送回洁净室。

    一旦AMC空气分子污染物超标会引起一系列严重后果，比如晶圆废弃、停产、重新净化洁净室等。


    可测组份

    2-氨基乙醇 CH3NH2CH2OH

    (t-乙酸丁脂)二羟基甲苯 H3CC6H3(t-C4H9)2OH

    2-氨基丙醇 CH3NH2C2H4OH

    六甲基二硅胺烷(CH3 ) 3SiNHSi(CH3)3

    异丙醇(CH3 ) 2CHOH

    二乙氨基乙醇(C2H5)2NC2H5OH

    乙醇胺 H2NCH2CH2OH

    邻苯二甲酸二辛酯C6H4(C=OOC8H15)2

    环己胺C6H11NH2

    邻苯二甲酸二乙酯C6H4(C=OOC2H5)2

    环聚二甲基硅氧烷(-Si(CH3)2O-)n

    邻苯二甲酸二丁酯 C6H4(C = OOC4H9)2

    对二氯苯CIC6H4CL

    三乙胺(C2H5 ) 3N

    邻苯二甲酸二壬酯C6H4(C=OOC9H19)2

    邻苯二甲酸二环己酯C6H4(C=OOC6H11)2

    邻苯二甲酸二癸酯 C6H4(C=OOC10H21)2

    磷酸三乙酯(C2H5O ) 3P=0

    十甲基环五硅氧烷(-Si(CH3)2O-)5

    十二甲基环五硅氧烷(-Si(CH3)2O-)6

    二甲苯(CH3)2C6H4

    三甲酚磷酸酯(CH3C6H4O ) 3P=0

    三甲基硅醇C3H10OSi

    ......



    亮点

    一般特点：

     

    应用






    咨询电话 010-8243-3533
    版权所有 © 北京杜克泰克科技有限公司 京ICP备14007870号-1