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    EDK 4500 EIMS 增强离子迁移谱


    工作原理:

    离子迁移谱(IMS)是一种基于均匀电场中离子-分子相互作用的分析技术。该技术的主要优点是:结构紧凑、灵敏度高(ppb-ppt级)、响应速度快(毫秒范围)、常压操作和分离异构体的能力。传统的IMS仪器主要由电离区、反应区和漂移管三部分组成。

    离子迁移谱技术具有灵敏度高(ppb范围)、响应速度快(毫秒范围)、结构紧凑、可在大气压下操作以及能分离异构体等优点。在这篇简短的报告中,我们展示了使用IMS检测氯化氢(HCl)和氟化氢(HF)的灵敏度和快速响应。


    EDK 4500 EIMS主要特点:

    采样点

    1-16-30-45

    分析设置

    EIMS可检测的NH3、HCl、HF、VOC和其他

    标准范围

    0~50,0~100 ppb

    采样管的最大长度

    130米

    设备条件

    干燥压缩空气,110-115-230 Vac 50/60 Hz

    通讯接口

    以太网端口、Modbus、Profibus

    安装

    19"机架安装

    掺杂物

    取决于检测到的气体

    软件用户界面

    内置控制软件

    操作温度

    5~45℃

    尺寸

    机架19"4U L 500mm

    重量

    取决于配置


    猎户座3100是半导体工业的完整AMC系统

    猎户座3100是一个多点区域监测系统,依次将气体吸入分析仪或通过气体传感器分析读取浓度,采样点数可根据用户需求配置。猎户座3100有报警和报告软件,是依据多年的经验开发的系统。

    猎户座3100可使用以太网、Modbus、 RS232/RS485或可选4~20mA模拟模块,最多可从4至6个分析仪或气体传感器输出数据。每个分析器都有一台内部计算机(Linux OS),它可以无限期地存储硬盘上的数据,并通过数字(RS232)或以太网输出将实时数据发送给数据存储器。此外,该分析仪可以通过互联网远程控制。此功能允许用户在任何可以访问Internet的地方使用web浏览器操作分析仪。此远程访问允许对仪器进行bios级控制,并提供无需现场即可获取数据和诊断仪器操作的机会。



    控制软件可从多个不同位置采样分析NH3、HCl、HF、TA、VOC等AMC进行自动化的实时查看及操作。本软件程序是专门为监测和控制DUV光刻过程中空气污染的半导体设备编写的。该软件灵活性较高,可应用于任何需要一个或多个分析仪进行多点采样的工业设置。功能包括简单的报警交互控制、数据记录、历史趋势和Windows环境中的基本分析器功能。

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    软件可以快速查看属于当前操作间的测量点;由于这些点的分析是EIMS完成的,每个测量点的目标气体都是同步检测的。对于每个测量点,可以看到上一次测量的值,而当前测量点会突出显示所在的状态。此外,还可以查看系统是在手动模式还是自动模式下测量,是在测量样本还是在后台阶段,自动序列的哪个点正在扫描,以及一个进度条,指示序列的下一步还剩多少。


    咨询电话 010-8243-3533
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