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    AMC空气分子污染物VOC监测系统 

    阿瑞斯-µVOC


    概述:

    空气分子污染物 (AMC) 对于高科技生产过程是关键性因素,特别是微电子行业,有机污染物是生产过程中的消极因素,会导致高科技公司因产品质量问题而产生的成本增加。

    无空气分子污染物生产是理想的生产目标,通过污染物源头控制、传播控制,实时监控污染物浓度并结合多级过滤器以及新风系统来实现,持久监测AMC浓度,有助于掌握污染物源头、稳定生产、预防过滤器突发性寿命减少等。

    阿瑞斯-µVOC提供给客户一个实时快捷持续的在线空气分子污染物AMC监测方案,不需要采样,离线测量。

    检测限达到sub-ppb级

    洁净室环境中的空气分子污染物AMC,内部来自建筑材料释出、设备和材料释出、腐蚀和光刻等工艺过程中化学药品逸散、人员产生、管路泄露、设备维护修理时散发等,外部来自环境空气中存在的气相污染物,以及洁净室的废气排放重新送回洁净室。

    一旦AMC空气分子污染物超标会引起一系列严重后果,比如晶圆废弃、停产、重新净化洁净室等。 

    空气分子污染物问题:从洁净间到生产机台加工

    随着IC产品生产成本的增加,空气分子污染物AMC的监测变得越来越重要。污染物从加工到超净间的扩散,并且成份的增加,分子污染物来自多个源头,比如生产化学药剂、建筑材料、洁净间设备装置、操作人员等。

    阿瑞斯-µVOC系统意味着潜在鉴别空气分子污染物与产生污染问题和减少污染问题之间的关联,完整的全量程全组份实时sub-ppb级测量,提供早期AMC监测和快速确定这些污染问题的原因。

    通过成份形成跟踪污染物源头

    许多生产过程化学药剂成为污染物的源头,NH3因光刻工艺过程而最为著名。六甲基二硅胺烷(HMDS)又分解成三甲基硅醇和NH3,等等很多类似的化学药剂的分解与释放,都造成AMC的增加。而实时迅速测量这些成份浓度的阿瑞斯-µVOC 系统可以跟踪污染物形成的时间和路线。

    亮点

    l 在线连续质量监测全部自动化系统

    l 低浓度VOC监测

    l 独立分开测量有机物成份

    l Sub-ppb检测限

    l 集成计算机和控制软件以及数据采集与处理功能

    应用:

    洁净间污染物监测、过滤器状态监测、加工过程全组份测量诊断污染物

    污染物交叉干扰是另一个洁净室控制的难题,事实上,由于洁净室内部气体循环,一个工艺段上的必须用的药剂或溶剂有可能成为另一个不同工艺段的危害物或污染物。多亏 阿瑞斯-µVOC系统强大的多组份低浓度测量能力,为洁净室交叉干扰难题提供了绝好的解决方案。

    技术参数:

    特性

    工作原理:

    气相色谱

    测量量程:

    0-200ppb

    准确度:

    2%

    尺寸 (HxWxD):

    160 cm x 60 cm x 80 cm

    防护等级:

    Nema 12 或IP54不锈钢外壳

    工作温度:

    10°C—35 °C

    通讯:

    RS-232, Ethernet, ODBC

    电源:

    230 Vac, 50/60 Hz 900W

    供气要求:

    CDA 5 l/min H2 130 sccm (可选H2发生器)

    采样通道:

    高达16

    分辨率:

    0.1ppb

    测量组分:

    高达30, 客户可定制

    可测组分

    2-氨基乙醇 CH3NH2CH2OH

    (t-乙酸丁脂)二羟基甲苯 H3CC6H3(t-C4H9)2OH

    2-氨基丙醇 CH3NH2C2H4OH

    六甲基二硅胺烷 (CH3)3SiNHSi(CH3)3

    异丙醇 (CH3)2CHOH

    二乙氨基乙醇 (C2H5)2NC2H5OH

    乙醇胺 H2NCH2CH2OH

    邻苯二甲酸二辛酯 C6H4(C=OOC8H15)2

    环己胺 C6H11NH2

    邻苯二甲酸二乙酯 C6H4(C=OOC2H5)2

    环聚二甲基硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)n

    邻苯二甲酸二丁酯 C6H4(C=OOC4H9)2

    对二氯苯 ClC6H4Cl

    三乙胺(C2H5)3N

    邻苯二甲酸二壬酯 C6H4(C=OOC9H19)2

    邻苯二甲酸二环己酯 C6H4(C=OOC6H11)2

    邻苯二甲酸二癸酯 C6H4(C=OOC10H21)2

    磷酸三乙酯 (C2H5O)3P=O

    十甲基环五硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)5

    十二甲基环五硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)6

    二甲苯 (CH3)2C6H4  

    三甲酚磷酸酯 (CH3C6H4O)3P=O

    三甲基硅醇 C3H10OSi

    三甲酚磷酸酯 (CH3C6H4O)3P=O


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